CVD / CVI 气相沉积炉 与 气相渗透炉

型号 CVD 30

功能介绍:

  • 有效尺寸  (Ø/h) :    360 mm / 295 mm 
  • 有效容积 :   30 dm³
  • 最大装炉量 :   ≤ 25 kg
  • 工艺温度 :   900 - 1500 °C
  • 最高温度 :    1600°C
  • 加热速度  (RT-1600°C) :   ≤ 5 K/ min
  • 温度精度 :   ± 10 K
  • 冷态清洁极限真空 :   ≤ 2x10-1 mbar (20 Pa)
  • 泄漏率 :   ≤ 5 x 10-2 mbar l / s
  • 分压控制 :   10 - 100 mbar
  • 最大加热功率 :   45 KW
  • 冷却水要求 (p_in: 4 bar) :   30 KW
  • 场地要求 (W/H/D) :   5 / 3 / 3 m
  • 电源 :   3 x 380 V±5%, 50 Hz, 130 kVA
  • 工艺控制技术及处理系统:西门子S7/1500 及 WinCC
  • 可选项:  燃烧器洗涤器
  • 可选项:  蒸发器

 

FCT 保留技术参数变更权利

 

CVD 气相沉积炉
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CVD 气相沉积炉

Typ: KCE®-FCT CVD 30-SiC

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