CVD / CVI 气相沉积炉 与 气相渗透炉
型号 CVD 2500
功能介绍:
- 有效尺寸 (Ø/h) : 1400 mm / 1700 mm
- 有效容积 : 2600 dm³
- 最大装炉量 : ≤ 600 kg
- 工艺温度 : 900 - 1500 °C
- 最高温度 : 1600°C
- 加热速度 (RT-1600°C) : ≤ 5 K/ min
- 温度精度 : ± 10 K
- 冷态清洁极限真空 : ≤ 2x10-1 mbar (20 Pa)
- 泄漏率 : ≤ 5 x 10-2 mbar l / s
- 分压控制 : 10 - 100 mbar
- 最大加热功率 : 500 KW
- 冷却水要求 (p_in: 4 bar) : 200 KW
- 场地要求 (W/H/D) : 10 / 8 / 5,5 m
- 电源 : 3 x 380 V±5%, 50 Hz, 600 kVA
- 工艺控制技术及处理系统:西门子S7/1500 及 WinCC
- 可选项: 燃烧器洗涤器
- 可选项: 蒸发器
FCT 保留技术参数变更权利
