CVD / CVI системы покрытия и инфильтрации

Тип CVD 30

Функции:

  • Полезные габариты (Ø/h):    360 мм / 295 мм 
  • Полезный объем:   30 дм³
  • Макс. объем загрузки:   ≤ 25 kg
  • Диапазон рабочих температур:   900 - 1500 °C
  • Макс. температура:    1600°C
  • Скорость нагрева (комнатная -1600°C):   ≤ 5 К/ мин.
  • Однородность температуры:   ± 10 K
  • Предельный вакуум (в холодной, чистой печи):   ≤ 2x10-1 мбар (20 Па)
  • Скорость утечки:   ≤ 5 x 10-2 мбар л/с
  • Диапазон регулирования парциального давления: 10 - 100 мбар
  • Макс. доступная мощность нагрева: 45 кВт
  • Потребность в охлаждающей воде (p_in: 4 бар): 30 кВт
  • Требуемое пространство (Ш / В / Д): 5 / 3 / 3 м
  • Требуемое напряжение питания: 3 x 380 В ± 5%, 50 Гц, 130 кВА
  • Управление Siemens S7 / 1500 и WinCC
  • Опция: нагреватель горелки
  • Опция: испаритель

Производитель оставляет за собой право вносить изменения без уведомления

Установка CVD– методы осаждений
magnify

Установка CVD– методы осаждений

Тип: KCE®-FCT CVD 30-SiC

loading
loading