CVD / CVI Beschichtungs- und Infiltrationssysteme

Typ CVD 175

Funktionen:

  • nutzbare Abmessungen (Ø/h):    530 mm / 800 mm 
  • nutzbare Volume:   175 dm³
  • max. Ladekapazität:   ≤ 100 kg
  • Prozesstemperaturbereich:   900 - 1500 °C
  • max. Temperatur:    1600°C
  • Aufheizrate (RT-1600°C):   ≤ 5 K/ min
  • Temperaturhomogenität:   ± 10 K
  • Ultimatives Vakuum (kalter, sauberer Ofen):   ≤ 2x10-1 mbar (20 Pa)
  • Leckrate:   ≤ 5 x 10-2 mbar l / s
  • Partialdruckregelbereich:   10 - 100 mbar
  • max. verfügbare Heizleistung:   150 KW
  • Kühlwasserbedarf (p_in: 4 bar):   100 KW
  • Platzbedarf (W/H/D):   6 / 6,5 / 4,5 m
  • Erforderliche Stromversorgung:   3 x 380 V±5%, 50 Hz, 250 kVA
  • Steuerung Siemens S7 / 1500 und WinCC
  • Option: Brennerwäscher
  • Option: Verdampfer

 

Alle Angaben sind ohne Gewähr. Technische Änderungen vorbehalten.

 

CVD Anlage - Abscheidungsverfahren
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CVD Anlage - Abscheidungsverfahren

Typ: KCE®-FCT CVD 30-SiC

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